单晶定向的切割方法有哪些？

发布日期：2017-05-31 00:00 来源：http://www.lutsk2019.com 点击：

各向异性是晶体的本征特性, 即晶体在不同方向上具有不同的光学、电学、力学等物理性能, 在应用时, 根据使用目的不同, 须对晶体进行不同的定向切割. 例如, 要制作性能优异的Si 压力传感器 , 须利用 Si 单晶在( 001) 面上的 110 方向压阻效应大的特性, 定向切割出 Si( 001) 面, 并在此面上标出 110 方向, 在此面上, 沿着 110 方向制作电阻. AgGaSe 2 晶体. 一般采用自发成核 Bridgman 方法生长, 生长出的晶锭无明显方向特征, 要研究 AgGaSe 2 晶体对粒子的探测性能, 须定向切割出( 001) 面.

单晶定向方法很多, 如光象法、锥光图法、劳埃定向法以及近年来利用定向仪发展的几种快速定向法等. 光象法、锥光图法应用非常局限, 精度很差, 且无法定向切割出任意晶面. 劳埃法虽然很经典、适用性广, 但定向过程十分繁琐、费时, 对操作者要求有较丰富的经验. 利用定向仪的几种快速定向法, 具有较强的实用性, 但要定向切割出任意晶面, 其操作过程也很繁琐.

在现代石英晶体制作技术中，国外为了进步晶片切角精度及成品率，有3台重要设备必不可少：一是高精度X射线粘板仪器，二是高精度多刀切开机，三是高精度X射线晶体定向仪。

需求特别强调的是，这篇文章提到的单反射、双反射型定向仪，不只能用于石英工业，国外也广泛地用于水晶以外的单晶资料。如：硅，铁氧体，以及其它单晶资料。国内高等院校、研究院所已开始订购，并以报价低的优势，开始出口。

单晶定向