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      半导体级硅单晶定向设备的原则

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      半导体级硅单晶定向设备的原则

      发布日期:2018-07-06 11:31 来源:http://www.lutsk2019.com 点击:

        晶体定向的作用,就为了确切地描述和表达构成晶体的晶面、晶棱以及对称要素在空间的展布方位。正如几何学中的一样,我们需要有的规则来给晶体定向,从而体现不同晶系的晶体的各项特征。半导体级硅单晶定向设备晶体定向的作用:晶体定向后就可以对晶体上所有的面、线等进行标定,给出这些面、线的晶体学方向性符号;晶体定向是研究晶体各种物理性质(光学、电学、磁学等)方向性的基础。那么,蓝宝石晶体定向怎么选出X, Y, Z 轴呢?晶体定向就是在晶体上建立一个坐标系,由X, Y, Z 轴组成。X, Y, Z 轴也称为晶轴或结晶主轴。

      晶体定向的原则:

        符合晶体的对称性,一般都是选择晶体上的对称要素(如对称轴,对称面的法线)为晶轴;在符合上述原则的基础上尽量使晶轴夹角等于90°。晶体结构就是由晶胞在三维空间堆跺起来形成的。用来“堆砌”晶体的特殊“砖块”就是晶胞。晶体定向,就是在晶体中建立一个三维空间坐标系,然后我们需要选择坐标轴(又称为晶轴)、确定各晶轴上的单位长(轴长)及其比率(轴率)。晶轴实际上是格子构造中的行列(直线),该行列上的结点间距称为轴长或轴单位,xyz轴上的轴单位分别以a0、b0和c0表示。只根据晶体外形的宏观研究是不能确定轴长的,但我们可以根据几何结晶学的方法可以确定出它们之间的比率a:b:c,这一比率称为轴率。

        蓝宝石偏角定向晶体结构中的任何点都是以格子状图形重复排列的,不同的点所形成的格子状图形相互穿套在一起,就形成了晶体结构的格子构造。该仪器主要用于测量蓝宝石晶棒的端面及参考面的角度,也可以用于测量其他种类晶体材料的晶棒。此型仪器设有两个工作台,双侧工作台可以同时进行操作,样品台可根据用户需要配置。晶片参考边端面定向仪尽管各种晶体具有不同的结构,原子、离子等排列方式也具有各种不同的规律性,但所有晶体结构共同的本质特点是:质点在三维空间周期性重复排列,即具有格子构造,意指可以用格子状的图形来表达。那么,晶体结构里有些什么样的格子状图形呢?我们引入“空间格子”这一概念。


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