用金相腐蚀法进行激光单晶定向

发布日期：2019-08-29 10:45 来源：http://www.lutsk2019.com 点击：

在进行金相腐蚀之前，应先将晶体端面用80#金刚砂在平板玻璃上湿磨，使在端面上解理出无数微小的解理坑，洗净后，按指定的腐蚀工艺条件进行腐蚀。

硅单晶定向实验用的单晶材料，在5％的NaOH水溶液中沸腾煮7分钟．经过金相腐蚀的硅单晶晶面，腐蚀坑底的平面是垂直于上述相应晶轴的晶面，而其边缘上的几个侧面则为另一些具有特定的结晶学指数的晶面族，这些侧面按轴对称的规律围绕着腐蚀坑的底面，从而构成各种具有特殊对称性的腐蚀坑构造．腐蚀坑的直径大约为10μ的数量级，而激光束的直径为1mm，因而同一束激光可以照射到许多腐蚀坑上。每一腐蚀坑在表面上的分布虽然是不规则的，但每个腐蚀坑均具有严格的轴对称性，因而它们每一个相应的侧面都取相同的方向，从而将平行的入射光也反射在相同的方向。

如将一晶体置于激光定向仪的晶体夹具上，调整各个方位，使被测晶轴的方向与入射的激光轴相平行，于是，在光屏上就显示出反映晶轴对称性的特征光图。

用腐蚀法处理获得的特征光图十分清晰，有利于提高定向精度。但晶锭的端面如果与被测晶向偏离太大，一般情况下如超过10。

则腐蚀坑的对称性就被严重破坏了，显示不出对称形的光图。这就限制了采用腐蚀法前处理工艺的定向范围。

晶定向,碳化硅定向,碳化硅晶体