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      化学腐蚀法研究蓝宝石晶体定向中的位错缺陷

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      化学腐蚀法研究蓝宝石晶体定向中的位错缺陷

      发布日期:2019-11-11 00:00 来源:http://www.lutsk2019.com 点击:

      为了适应工业化蓝宝石晶体定向的需求目前采用人工方法制备蓝宝石晶体则成为获得大直径、高完整性和按要求晶面生长单晶的主要方法。蓝宝石晶体的生长方法主要有:熔焰法Verneuil、提拉法(CZ法)、导膜法(EFG法)、感应温场上移法(1FUS法)、动态凝固法(DGSM法)、温梯法(TGT法)、热交换法(HEM法)等。

      制备外延GaN薄膜,目前主要的衬底材料有:蓝宝石、SiC、硅等衬底材料。综合多方面考虑,蓝宝石是目前广泛使用的衬底。

      蓝宝石是刚玉类宝石中的一个品种。天然蓝宝石无色透明,多数是罕见的星光宝石。由于天然蓝宝石少,化学成分不纯和成本高,不能作为工业材料使用。人造蓝宝石具有许多热学、光学、电学和力学的优良性能,使它成为一种特殊的材料,有着重要的用途,吸引着人们在蓝宝石的研制和蓝宝石晶体定向应用等方面作了大量的工作。

      蓝宝石的主要化学成分是三氧化二铝(A12O3),晶型为a-A12O3,分子量为101.94。在20℃时的密度为3.98g/cm3。其化学性能非常稳定,一般不溶于水,不受酸、碱腐蚀。蓝宝石的硬度很高,为莫氏硬度9级,仅次于金刚石。它具有很好的透光性、热传导性和电气绝缘性,力学机械性能好,并且具有耐磨和抗风蚀的特点。其熔点为2050℃,沸点为3500℃,Z高工作温度为1900℃。


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