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      蓝宝石晶体定向用KOH进行化学腐蚀

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      蓝宝石晶体定向用KOH进行化学腐蚀

      发布日期:2019-11-18 00:00 来源:http://www.lutsk2019.com 点击:

      蓝宝石性质稳定,常温条件下难与酸、碱反应。但在高温条件下用熔融的KOH会对蓝宝石单晶产生化学腐蚀。不同腐蚀时间的腐蚀结果的密度为3.98g/cm3。其化学性能非常稳定,一般不溶于水,不受酸、碱腐蚀。蓝宝石的硬度很高,为莫氏硬度9级,仅次于Z硬的金刚石。它具有很好的透光性、热传导性和电气绝缘性,力学机械性能好,并且具有耐磨和抗风蚀的特点。其熔点为2050℃,沸点为3500℃,Z高工作温度为1900℃。

      为了适应工业化蓝宝石晶体定向的需求目前采用人工方法制备蓝宝石晶体则成为获得大直径、高完整性和按要求晶面生长单晶的主要方法。蓝宝石晶体的生长方法主要有:熔焰法Verneuil、提拉法(CZ法)、导膜法(EFG法)、感应温场上移法(1FUS法)、动态凝固法(DGSM法)、温梯法(TGT法)、热交换法(HEM法)等。

      半导体晶体的内在质量、晶体缺陷、杂质浓度等直接关系到外延层和器件的质量及成品率。准确地显示出晶体缺陷、研究其形成机理和控制及消除技术对制备高质量晶体是非常重要的。蓝宝石晶体定向主要研究了用化学腐蚀的方法显示蓝宝石单晶的位错缺陷的条件,为提高晶体质量提供基础数据。


      蓝宝石晶体定向

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