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      硅单晶锭定向仪

      硅单晶锭定向仪

      • 所属分类:半导体级硅单晶定向设备

      • 点击次数:
      • 发布日期:2015/11/10
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      详细介绍

      硅单晶锭定向仪

      DX-7C硅单晶锭定向仪

      功能:此型仪器专门用于硅单晶锭的定向,和多线切割机配套使用,工作台上有一对滚杠,晶锭放在滚杠上,其端面在x射线照射下定向。

      特点:此仪器晶锭尾端和进口编码器偶合,细分步到0.001°,用于测定晶锭旋转角度。可进行四方位(0°、90°、180°270°)和二方位(0°、90°)测量。该仪器有一套电脑控制装置,包括输入键盘、屏幕和打印机,选择屏幕菜单、键入晶锭编号。所需数据,产品要求的切割偏角等。经计算、显示、打印出晶锭编号,晶锭在料板(工件板)上粘结所必须的自身旋转角?及摆角&等值。

      技术参数:

      项目

      参     数

      输入电源

      单相交流220V,50Hz,0.3KW.

      Z大管电压

      30kV

      管电流

      0-5mA连续可调

      接收器

      盖革计数器,工作电压Z高为DC1050V。

      X射线管

      铜靶,风扇冷却,阳极接地。

      时间常数

      1(快)、2(慢)两档

      测定角度

      2θ=-10~120°,θ=-5~60°。

      外形尺寸

      1290(长)x772(宽)x1300(高)mm

      仪器重量

      300kg

      晶锭直径

      6-8英寸

      晶锭Z大长度

      500mm

      测定晶面

      111向、100向

      定向精度

      ±30"(用标准石英片10ī1面测量)

      Z小读数

      1"

      晶锭转角(?)

      ±90°±0.1°

       


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