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      深圳硅单晶锭粘结仪

      深圳硅单晶锭粘结仪

      • 所属分类:深圳半导体级硅单晶定向设备

      • 点击次数:
      • 发布日期:2015/11/10
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      详细介绍

      硅单晶锭粘结仪

      DX-7CF硅单晶锭复检仪

      功能:此型仪器专门用于硅单晶锭定向、粘结后复检。待测晶锭在我公司的DX-7C型X射线定向仪定向,在DX-7CZ型粘料仪上粘结后,Z终在本仪器上复检,和多线切割机配套使用。

      特点:此仪器具有一个工作台,工作台上有托板和料板(工件板)的定位、夹紧装置。晶锭与垫条(石墨/玻璃/树脂)、料板粘结后一起装在上述装置定位夹紧,其端面在x射线照射下进行复检,每个料板只可复检两块晶锭。

      技术参数:

      项目

      参     

      输入电源

      单相交流220V,50Hz,0.3KW.

      Z大管电压

      30kV

      管电流

      0-5mA连续可调

      接收器

      盖革计数器,工作电压Z高为DC1050V。

      X射线管

      铜靶,风扇冷却,阳极接地。

      外形尺寸

      1290(长)x772(宽)x1300(高)mm

      仪器重量

      300kg

      晶锭直径

      5-8英寸

      晶锭Z大长度

      500mm

      测定晶面

      111向、100向

      定向精度

      ±30"(用标准石英片10ī1面测量)

      Z小读数

      1"

      晶锭转角(&)

      ±10°

      料板Z大长度

      500mm

      料板宽度

      70mm、100mm


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