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      深圳半导体籽晶X射线定向仪

      深圳半导体籽晶X射线定向仪

      • 所属分类:深圳半导体级硅单晶定向设备

      • 点击次数:
      • 发布日期:2015/11/10
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      详细介绍

      半导体籽晶X射线定向仪

      DX-7型半导体籽晶X射线定向仪

      功能:此型仪器主要用于硅单晶籽晶定向,也可用于其它半导体材料的籽晶定向。

      特点:此仪器为双侧工作台,右侧工作台用于对拟加工成籽晶的硅单晶锭的端面定向,然后在内圆切割机上切成籽晶条;左侧工作台用于对上述籽晶条进行定向。

      技术参数:

      项目

      参     

      输入电源

      单相交流220V,50Hz,0.3KW.

      Z大管电压

      30kV

      管电流

      0-5mA连续可调

      接收器

      盖革计数器,工作电压Z高为DC1050V

      X射线管

      铜靶,风扇冷却,阳极接地。

      测定角度

      2θ=-10~120°,θ=-5~60°。

      综合精度

      ±30″(用标准石英片10ī1面测量)

      Z小读数

      1

      被测晶体尺寸

      用于测定直径为0.5-8英寸,≤30KG的硅单晶(锭)。

      外形尺寸

      1290(长)x772(宽)x1300(高)mm

      仪器重量

      300kg

       


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